汎用多軸回折計

複数の精密ゴニオメータ・自動ステージ類を定盤上に配置することにより、 多軸回折計を構成し、 様々な光学配置を迅速に実現します。 定盤は、 一時的に光軸より退避することが可能です。

1． 手法・使用方法

ゴニオメーターと各種自動ステージは、ステッピングモーター駆動により遠隔で操作されます。

2． 詳細仕様

(1) 光学定盤

全体寸法：光軸方向1650 mm ×光軸直行方向1400 mm× 高さ1000 mm
定盤寸法：光軸方向1500 mm×光軸直行方向900 mm（定盤）
　　　　　光軸方向180 mm×光軸直行方向415 mm（ゴニオメータキャリア）
　　　　　光軸方向180 mm×光軸直行方向160 mm（検出器キャリア）
ゴニオメータキャリア（4台）
検出器キャリア（4台）
定盤上面水平並進機構 ストローク：300 mm (手動)

（2）ゴニオメーター (軸名、ストローク、分解能)
①精密ゴニオメータ (KTG-15D)
θ軸：±1.5°、 0.005 arcsec/pulse (half step)
２θ軸：±180° (manual)

②ω-2θゴニオメータ (RA20-21-1B)
ω軸：±180°、 0.0002°/pulse (half step)
２θ軸：±180°、0.0004°/pulse (half step)

③ 精密ゴニオメータ (高荷重2θタイプ) (KTG-22WB)
ω軸：±1.5°、 0.005 arcsec/pulse (half step)
２θ軸：±180°、0.002°/pulse (half step)

④ゴニオメータ用XZステージ (XA25A, KHI-4S)
X軸: ± 50 mm, 1 um/pulse (half step)
Z軸: ± 50 mm , 1 um/pulse (half step)

（3）並進ステージ
①小型Xステージ (XA05A, XA07A, XA10A)
②小型Zステージ (ZA10A-W2, ZA10A-W2C)
③中型Zステージ (ZA16A)

（4）回転ステージ
①小型θステージ (RA07A-W、 RA10A-W)
②高分解能小型θステージ (RA10A-T)
③中型θステージ (RA16A-W)
④中空中型θステージ (RA16A-WH)

（5）スイベルステージ
①小型スイベルステージ (SA05-RM/RT、 SA10A-RM/RT)